熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過(guò)程，是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一；它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。

 

    真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用

 

    熱真空系統(tǒng)是指在真空和一定的溫度條件下驗(yàn)證航天器及其組件各種性能與功能的試驗(yàn)，由冷浸、熱浸與變溫過(guò)程組成。其環(huán)境條件為真空度優(yōu)于6.5×10-3Pa；具有冷黑背景，半球法向發(fā)射率大于0.90。在模擬試驗(yàn)時(shí)，試件多處于工作狀態(tài)并測(cè)量其工作參數(shù)和環(huán)境參數(shù)。冷浸是使航天器及其組件處于規(guī)定的試驗(yàn)低溫度，并停留規(guī)定的時(shí)間；熱浸是使其處于規(guī)定的試驗(yàn)高溫度，并停留規(guī)定的時(shí)間。從室溫開(kāi)始降至規(guī)定的試驗(yàn)低溫度，實(shí)行冷浸再上升至規(guī)定的試驗(yàn)高溫度，實(shí)習(xí)熱浸，后回到室溫，成為一個(gè)溫度循環(huán)。

 

    熱真空系統(tǒng)又稱(chēng)空間環(huán)境模擬設(shè)備或空間模擬器，它是模擬衛(wèi)星及其組件在軌道運(yùn)行中的高真空條件下，對(duì)衛(wèi)星組件進(jìn)行考驗(yàn)，這就是通常說(shuō)的組件熱真空試驗(yàn)。熱真空試驗(yàn)箱主要由真空容器、熱沉與輻射屏、試驗(yàn)平臺(tái)、制冷、加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、測(cè)量與控制系統(tǒng)及安全保護(hù)系統(tǒng)組成。

 

    在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用的使用說(shuō)明

 

    真空系統(tǒng)在投入生產(chǎn)使用前，必須仔細(xì)檢查各部位緊固件是否有松動(dòng)現(xiàn)象，若有松動(dòng)必須校正擰緊。開(kāi)車(chē)前水箱必須加滿(mǎn)水，打開(kāi)泵進(jìn)口閥，再運(yùn)行耐腐泵，嚴(yán)禁泵脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)，以防止損壞機(jī)封、葉輪及泵體其它部件。真空系統(tǒng)停車(chē)前先打開(kāi)放空閥或等真空度降至0.092MPa以下，再停車(chē)。以防真空度過(guò)高形成倒吸損壞止回閥。（如止回閥失靈，請(qǐng)打開(kāi)止回閥蓋，清除雜物）。

 

    在使用汽水串聯(lián)噴射真空系統(tǒng)時(shí)，先開(kāi)車(chē)再打開(kāi)蒸汽閥，停車(chē)時(shí)先關(guān)掉蒸汽閥再停車(chē)，以防止溫度過(guò)高而損壞水噴射真空泵。熱真空系統(tǒng)在安裝蒸汽管路時(shí)，管路一定要保持水平，防止管內(nèi)有積水，否則將影響真空效果。水箱內(nèi)的循環(huán)水應(yīng)經(jīng)常更換或補(bǔ)充，盡量保持較底的水溫，因?yàn)樗疁剡^(guò)高會(huì)影響排氣量和真空度。